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　　展开全部在正负电极间外加电压的作用下，电极间的气体原子将被电离。电离过程使部分Ar原子电离成为Ar+离子和电子，电子受电场加速向阳极运动，带正电荷的Ar+离子在电场作用下加速向作为阴极靶运动，并在与靶材表面撞击过程中释放出相应的能量。具有一定能量离子撞击靶材的结果之一是靶材表面原子获得一定的能量，并离开靶材表面，向衬底运动。在上述溅射的过程中，还伴随有其他粒子，包括二次电子等从阴极的发射过程。

　　磁控溅射时，靶材表面有磁场，可将电子束缚在靶材周围，不至于丢失，形成自维持放电现象，电压自然降低到几百伏特。在自维持放电过程中，大部分氩气的电离是由自由电子轰击后造成的。